【時(shí)訊科普】拋光的步驟流程
?【時(shí)訊科普】拋光的步驟流程
拋光過程分為兩個(gè)步驟，切削和最終拋光。
這兩步都要用到拋光墊和拋光漿。
切削過程是去除硅上薄薄的一層，以生產(chǎn)出表面沒有損傷的晶圓片。
最終拋光并不去除任何物質(zhì)，只是從拋光表面去除切削過程中產(chǎn)生的微坑。
拋光后，晶圓片要通過一系列清洗槽的清洗，這一過程是為去除表面顆粒、金屬劃痕和殘留物。
之后，要經(jīng)常進(jìn)行背面擦洗以去除最小的顆粒。
這些晶圓片經(jīng)過清洗后，將他們按照最終用戶的要求分類，并在高強(qiáng)度燈光或激光掃描系統(tǒng)下檢查，以便發(fā)現(xiàn)不必要的顆?；蚱渌毕?。
一旦通過一系列的嚴(yán)格檢測，最終的晶圓片即被包裝在片盒中并用膠帶密封。
然后把它們放在真空封裝的塑料箱子里，外部再用防護(hù)緊密的箱子封裝，以確保離開超凈間時(shí)沒有任何顆粒和濕氣進(jìn)入片盒。
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