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激光干涉儀是一種利用光干涉以極高的精度測(cè)量距離和形狀的設(shè)備。

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設(shè)備內(nèi)置光源輸出的激光被稱為分束器的特殊鏡子分成兩束。一側(cè)直接照射到樣品表面，另一側(cè)在照射前經(jīng)過(guò)分束器反射一次。

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此時(shí)，兩束激光之間的光程長(zhǎng)度出現(xiàn)差異。當(dāng)兩個(gè)波重疊時(shí)，干涉圖案會(huì)根據(jù)波的相位而變化。

由于干涉圖案根據(jù)光路長(zhǎng)度而變化，因此它根據(jù)樣品的表面粗糙度而敏感地變化。

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因此，可以從干涉圖案分析樣品表面的形狀。

由于其測(cè)量精度高、非接觸性，被應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域、科學(xué)研究等各個(gè)領(lǐng)域。

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激光干涉儀的應(yīng)用

激光干涉儀用于分析固體樣品的表面形貌。

例如，用于分析需要精確控制形狀的相機(jī)鏡頭和隱形眼鏡等鏡片的表面，以及測(cè)量DVD光盤和玻璃的表面形狀。

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它可以用于廣泛的領(lǐng)域，因?yàn)闊o(wú)論樣品的形狀如何，例如平面、球形或半球形表面，都可以使用它。

另一方面，由于外部振動(dòng)、樣品表面波動(dòng)和粗糙度的影響，測(cè)量結(jié)果容易出現(xiàn)波動(dòng)，因此不常用于測(cè)量液體樣品或未拋光的樣品。